六甲基二硅氮烷
别 名 六甲基二硅胺烷 | 双（三甲基硅）胺烷
简 称 HMDS
CAS号 999-97-3
EINECS 213-668-5
外文名 HEXAMETHYLDISILAZANE
分子式 (CH3)3SiNHSi(CH3)3
分子量 161.39
密 度 0.770—0.780
折光率 1.408±0.002
闪 点 27℃
沸 点 126℃
色 度 ≤10
性 状 无色透明液体、略带胺味
溶解性 溶于有机溶剂
